薄膜體聲波濾波器 (FBAR Filter)和 SAW同樣利用了壓電效應(yīng),其在器件的壓電層中,實(shí)現(xiàn)了電能到機(jī)械能的轉(zhuǎn)化,使電信號轉(zhuǎn)化為聲波的形式在壓電層中傳導(dǎo)并形成駐波,當(dāng)聲波的頻率和外加電壓的頻率相同(聲波半波長為壓電層厚度奇數(shù)倍)時即可產(chǎn)生諧振。由于壓電薄膜的厚度通常遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于單位時間內(nèi)聲波的傳輸?shù)木嚯x,FBAR的諧振點(diǎn)...